Unité de vide CNC intelligente 30 l/s Débit de pompage 5 × 10⁻¹ Pa Vide limite

Unité de vide CNC intelligente 30 l/s Débit de pompage 5 × 10⁻¹ Pa Vide limite

Présentation du produit

Le VET-001 utilise une technologie combinée à double pompe et un système de contrôle intelligent pour obtenir une sortie de vide efficace et stable :

▎Système de pompage à vide à haute efficacité

Conception de liaison à double pompe : la pompe Roots (débit de 30 L/S) et la pompe à palettes rotatives (débit de 8 L/S) fonctionnent en série, avec un vide maximal de 5 × 10⁻¹Pa, ce qui est 40 % plus efficace qu'un système à pompe unique et répond aux scénarios exigeants avec des exigences de vide de ≤ 10⁻¹Pa (comme le soudage par faisceau d'électrons et le traitement thermique sous vide).

Mode d'économie d'énergie : évalue intelligemment la charge de vide, seule la pompe à palettes rotatives fonctionne dans l'étape de vide faible et la pompe Roots démarre automatiquement dans l'étape de vide élevé, réduisant ainsi la consommation d'énergie de 35 % par rapport aux unités traditionnelles.

▎Système CNC intelligent

Interaction homme-machine : l'écran tactile Weilun/Omron de 7 pouces (commutateur chinois et anglais) affiche 12 paramètres tels que le vide, le débit de pompage, la température de l'huile, etc. en temps réel et prend en charge le traçage des courbes de données historiques (période de stockage ≥ 30 jours).

Contrôle automatique : équipé d'un capteur de connexion de pièce, le système démarre automatiquement dans les 0,5 secondes suivant la détection de la charge, libère automatiquement la pression et s'arrête une fois le test terminé ; prend en charge les préréglages de programme personnalisés (tels que les réglages de temps de maintien de la pression et de mise sous vide segmentés).

▎Plusieurs protections de sécurité

Protection électrique : détection de perte de phase (temps de réponse < 0,1 seconde), protection contre les surcharges du moteur (arrêt automatique à 1,2 fois le courant nominal), avertissement de surchauffe de la température de l'huile de la pompe à vide (alarme > 70℃).

Protection mécanique : La pompe Roots dispose d'une soupape d'huile anti-retour intégrée, qui isole automatiquement le système lors de l'arrêt pour empêcher la vapeur d'huile de contaminer la chambre à vide ; le cadre en acier inoxydable entièrement fermé (niveau de protection IP54) est étanche à la poussière et aux éclaboussures.

▎Capacité d'extension flexible

Interface de communication : l'interface RS485/Modbus TCP est réservée à la prise en charge de l'amarrage du système PLC et SCADA pour réaliser une surveillance à distance (comme l'avertissement de vide en temps réel et le diagnostic de panne à distance).

Configuration de la tuyauterie : 2 tuyauteries à vide DN16 sont standard (extensibles à 4), adaptées à l'interface de bride KF/QF et compatibles avec la connexion rapide de chambres à vide de différentes spécifications.

Caractéristiques du produit

• Combinaison pompe Roots + pompe à palettes rotatives, débit de pompage de 30 L/s, vide limite de 5 × 10⁻¹ Pa, adaptée aux exigences doubles de vide élevé et de vitesse de pompage élevée
• Écran tactile + contrôle entièrement automatique PLC, prise en charge de 10 ensembles de stockage de programmes personnalisés, efficacité de réglage des paramètres augmentée de 60 %
• Triple protection électrique contre la perte de phase/surcharge/température d'huile, conception mécanique anti-retour d'huile, pour assurer 7×24 heures de sécurité de fonctionnement continu
• Compatible avec le protocole Modbus, peut être connecté au système MES de l'usine pour réaliser la gestion des clusters et la traçabilité des données des équipements sous vide
• Conduite à vide extensible à 2 voies, prise en charge de l'interface de bride DN16-DN50, compatible avec les semi-conducteurs, les laboratoires et autres équipements multi-scénarios

Norme internationale de référence

• ISO 3668:2017 « Méthode de mesure des performances des pompes à vide » (Article 5 débit de pompage ; Article 6 pression ultime).
• GB/T 16530-2020 « Pompe à vide Roots » (Section 5.1 Limite de bruit ; Section 5.2 Amplitude de vibration).
• IEC 60204-1:2018 « Sécurité électrique des machines - Équipement électrique » (Article 8 Circuit de commande ; Article 12 Protection contre les surcharges).
• ATEX 2014/34/UE « Directive antidéflagrante » (applicable aux modèles personnalisés pour environnements inflammables et explosifs)

Paramètres techniques

Objets de test et éléments d'inspection

Objets de test :

• équipement de revêtement sous vide (tel qu'une chambre de pulvérisation magnétron), équipement de fabrication de plaquettes semi-conductrices (chambre à vide de revêtement de photorésist), four de séchage sous vide de laboratoire/dispositif de distillation, machine d'emballage sous vide, équipement de congélation sous vide.

Éléments d'inspection :

• Performances sous vide : débit de pompage (30 m³/h à pression atmosphérique standard), degré de vide limite (5 × 10⁻¹ Pa), taux de montée en pression (≤ 5 Pa/min).
• Compatibilité du système : efficacité de mise sous vide synchrone multi-pipelines, taux de fuite à l'interface de bride (détection par spectrométrie de masse à l'hélium ≤1×10⁻⁹Pa・m³/s).
• Stabilité à long terme : fluctuation du degré de vide (≤±5%) après 8 heures de fonctionnement continu, augmentation de la température de la pompe Roots (≤20℃).
• Économie d'énergie : consommation électrique à vide (≤1,5 kW), courbe de consommation électrique en charge (relation degré de vide-puissance).
• Performances de sécurité : résistance d'isolation électrique (≥10MΩ), continuité de la mise à la terre (≤0,1Ω), temps de réponse d'arrêt d'urgence (≤2 secondes).