Champ d'application :
Films minces optiques de précision et films minces électriques, tels que filtres, films antireflet, films réfléchissants, films filtrants, films spectraux, films passe-bande, films diélectriques, films à haute réflexion et autres types de systèmes membranaires, qui peuvent réaliser le revêtement membranaire de 0 à 200 couches de systèmes membranaires.
Certificat :
Calibration Certificate(cost additional)Prix :
NegotiableHeure de livraison :
30 daysModalités de paiement :
L/C, T/TMarque :
HCTENuméro de modèle :
HCTE-VCM-005Caractéristiques du produit:
Équipé d'un canon à électrons et d'une source d'ions de haute précision. Évaporation par résistance intégrée, processus de revêtement et contrôle automatique de l'épaisseur du film, résultant en une qualité de film stable.
Paramètres du produit :
Projet | Spécifications techniques |
Modèle | KVE-1320 |
Chambre | φ1320×H1200mm |
Vitesse de rotation du support de pièces | 0 ~ 60 tr/min (réglable) |
Vitesse de pompage de la chambre de revêtement | 3,0×10-3Pa≤30min |
Niveau de vide ultime | 8,0 × 10-5Pa |
Système de revêtement | Évaporation par pistolet à électrons, évaporation par résistance |
Matériaux cibles de pulvérisation | C, Si, Nb, Cr, Al, Ti et divers composés |
Contrôle de l'épaisseur du film | Contrôle des cristaux de quartz ou contrôle optique |
Système de contrôle | Ordinateur de contrôle industriel + écran tactile |
ÉTIQUETTES CHAUDES :