L'unité de pompe moléculaire à vide poussé pour four tubulaire à trois voies VET-004 est spécialement conçue pour le traitement multi-stations des matériaux et les essais en environnement sous vide. Elle intègre une pompe moléculaire à haut rendement de 600 l/s et trois fours tubulaires indépendants. Elle supporte un vide limite ≤ 1,5 × 10⁻⁵ Pa et un fonctionnement collaboratif à haute température de 1 200 °C. Elle est adaptée à la recherche, au développement et à la production de procédés sous vide poussé dans les domaines des semi-conducteurs, des nouvelles énergies, des nanomatériaux, etc.