La station de pompage à vide poussé VEAT-001 est un équipement de traitement sous vide entièrement automatique conçu pour la fabrication de semi-conducteurs, le conditionnement de composants aérospatiaux, le traitement de matériaux optoélectroniques et d'autres domaines. Elle prend en charge 6 à 20 stations de mise sous vide synchrone, et le vide limite atteint 6,7 × 10⁻⁴ Pa. Elle utilise un système à trois étages comprenant une pompe moléculaire sans huile et une pompe mécanique, conforme aux normes CEI 60255 et ISO 9001.